英諾維半導體科技（蘇州）有限公司團隊成立在2018年，開始研發、實驗紅外光在Wafer外延層的應用和數據積累；公司成立于2021年，專業從事FTIR在晶圓外延層檢測設備的設計與制造。2022年，全自動FTIR晶圓在線檢測設備已成功交付5臺。公司從方案設計、精密加工、組裝調試、現場實施及售后支持等方面為客戶提供全方位服務。目前主要有FTIR離線或在線自動化設備，機器人及軟件等產品、并計劃2024年開始對汞探針式電阻率和XRD/XRT自動化設備研發；我們針對半導體Semi S2 的獨特要求，整合運動控制、配合自主開發的SECEGEM軟件，為客戶提供客制化的自動化檢測設備解決方案。
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